레이저 가공

레이저는 비접촉식의 가공방식으로, 렌즈를 이용한 빛의 집속을 통해 미세가공에 유리한 특징을 가지고 있다. 금속, 세라믹, 유리와 같은 다양한 재료에 대한 커팅, 드릴링, 어닐링, 표면개선 등의 레이저 가공 방식들이 널리 사용되고 있다. 특히 펄스 폭이 수백 피코초 미만인 극초단 레이저는 극초단 레이저의 짧은 펄스 폭과 매우 높은 정점 에너지 밀도에 의해 발생하는 재료와의 비선형 반응을 이용해 열영향 없이 아주 미세한 가공이 가능하다. 본 연구실에서는 다양한 재료와 레이저에 대해 열영향, 마이크로 크랙 등의 결함이 없는 미세가공을 위해 공정 변수와 가공의 관계성을 찾고, 공정을 최적화하여 MEMS, 미세유체, 반도체, 디스플레이 산업 등의 응용분야에 적용하기 위한 연구가 진행되고 있다. UV 레이저와 고분자 화합물 간의 광화학적 반응을 이용하여 복잡한 형상을 가공 가능한 프로젝션 가공을 연구하였다. 고분자의 선택적 제거, 곡선 등의 복잡한 형상의 가공 및 미세 기둥 어레이 가공 등이 이에 해당한다. 극초단 레이저는 난가공성 재료의 가공이나 수 마이크론의 미세가공, 혹은 열영향을 최소화해야하는 공정에 대한 연구에 사용되었다. 각 층의 두께가 수백 나노미터인 다층 박막의 선택적 가공에 대한 연구가 진행되었다.

Polymer projection machining Selective machining of multi-thin-layer